产品与服务
石墨/碳纤维载板
600MW 机型载板（双拼）
外形尺寸： 2030mm*2015mm
Pocket数目：162 个（210半片型）
平面度：±1mm
寿命：≥18个月
硅片尺寸：182mm/210mm
1.2GW 机型载板（四拼）
外形尺寸：2750mm*2750mm
Pocket数目：288 个（210半片型）
平面度：±1.5mm
寿命：≥18个月
硅片尺寸：182mm/210mm
金属载板
600MW 机型载板(四拼）
外形尺寸： 2511mmx2101 mm
Pocket数目：160 个（210半片型）
平面度：±1.5mm
寿命：≥18个月
硅片尺寸：182mm/210mm
极致的靶材有效占比（高达85%）
1.2GW 机型载板（六拼）
外形尺寸：2750mm*2750mm
Pocket数目：288 个（210半片型）
平面度：±1.5mm
寿命：≥18个月
硅片尺寸：182mm/210mm
极致的靶材有效占比（高达85%）
加热器产品
阴极加热版
不锈钢加热板
半导体加热板
预热腔加热板
工艺腔加热板
半导体加热盘
定制化服务产品
石墨件
花篮
金属件
机构件、钣金件
温控产品
加热板、水冷板
表面喷涂
氧化铝、氧化钇