应用领域

面向具体工况的核心零部件研发与制造

以光伏设备配套为基础，持续拓展半导体设备配套。围绕承载、加热、冷却及功能陶瓷需求，与客户共同推进零部件设计、样件验证和制造交付。

业务基础

光伏设备

围绕 PECVD、PVD 等真空镀膜设备，提供载板、载具与加热器配套。结合设备尺寸、装配方式和工作温度，开展材料选择与结构设计。

应用需求: 承载与轻量化、装配精度，以及工作温度下的形变控制。
配套产品: 碳碳 / 石墨载板、PVD 金属载板、铠装加热器等。
研发关注: 综合分析材料参数、支撑方式与加强结构，依据样件验证结果优化设计与工艺。

查看载板及载具查看加热器

光伏设备配套金属载板 — 光伏设备 · 载板配套

持续拓展

半导体设备

面向设备的加热、冷却及功能陶瓷需求，拓展半导体加热盘、水冷板和陶瓷零部件配套。以实际工况为依据，协同开展设计分析与性能验证。

加热配套: 关注温度分布、高温形变、加热布局与材料连接，并结合工况验证测温、绝缘和密封性能。
冷却配套: 围绕热负荷与安装空间，开展传热、流道及密封结构设计，结合加工工艺推进样件验证。
功能陶瓷: 依据导热、绝缘或结构支撑需求选择材料，开展精密结构加工及性能验证。

查看半导体加热盘查看陶瓷结构件查看水冷板

半导体晶圆加热盘 — 半导体设备 · 加热组件配套

面向具体工况的协同研发

北京研究院与制造端共同支持项目开发，将应用需求转化为可测量、可验证的零部件要求。

需求确认
明确零件功能、装配界面、热负荷、使用环境与验收要求。
方案评审
评估材料、结构与工艺路线，结合结构、热与流体仿真识别关键风险。
样件验证
按约定方案打样与测试，依据验证结果迭代设计和加工工艺。
制造交付
固化图纸、工艺和检验规范，按项目要求推进供货与后续配套。

研发与制造支撑

材料研究与仿真分析 · 碳碳 / 石墨加工 · 金属加工 · 铠装加热器制造 · 陶瓷结构件制造

结合项目确认尺寸与形位检测、清洁度、真空氦检、测温及可靠性验证方案。

让零部件方案贴合您的设备工况

与玖方团队讨论应用需求与配套开发。