产品与服务
深耕真空镀膜设备核心零部件，为光伏、半导体、显示面板及自动化领域提供产品与定制化加工服务。
01 / CARRIER PLATES & FIXTURES
载板及载具
覆盖 PECVD、PVD、玻璃镀膜及钙钛矿等工艺，提供碳碳、石墨和金属材料的载板与载具设计、加工及配套服务。
01.1
PECVD 碳碳载板
面向异质结电池 PECVD 镀膜设备的碳碳复合载板。
01.2
PVD 金属载板
覆盖四拼、六拼及半片 / 分片等装载方案。
01.3
玻璃镀膜载板
提供平面式与立式玻璃镀膜载板。
01.4
钙钛矿载板
面向钙钛矿研发与量产设备的载板及工装。
02 / HEATING PRODUCTS
加热器
围绕真空腔体与半导体设备热场需求，提供铠装加热器、加热盘、加热笼及多种定制化加热组件。
02.1
真空与金属加热器
围绕真空腔体热场、密封与耐腐蚀需求开发。
02.2
半导体与工业加热组件
覆盖晶圆加热盘、加热笼及多温区钣金加热器。
02.3
专用加热盘
提供铝制和合成石等不同结构的专用加热盘。
03 / CERAMIC COMPONENTS
陶瓷结构件
提供氮化铝、氧化铝、氧化锆、碳化硅和氮化硅等精密陶瓷结构件，支持来图及工况定制。
04 / OTHER PRODUCTS & SERVICES
其他产品与服务
提供水冷板、喷淋板、金属舟、气体分布板及表面喷涂等设备零部件与加工服务。
CUSTOMIZED SOLUTIONS