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金属气体分布板

工装与结构件

金属气体分布板

支持密集微孔、流道与密封结构加工,用于工艺气体均匀分布。

PRODUCT FEATURES

产品特点

  1. 01

    微孔与流道精密加工

  2. 02

    气体均匀分布设计

  3. 03

    支持密封和接口结构定制

APPLICATION

应用场景

适用于薄膜沉积、刻蚀等真空工艺设备。

SPECIFICATIONS

产品参数

以下内容来自公司画册公开资料;具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。

定制内容
孔阵列、流道、密封及接口
制造能力
精密加工与表面处理
检测能力
尺寸、洁净度及密封检测

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