金属加热盘

真空加热组件

金属加热盘

集成加热元件与测温组件的金属加热盘，兼顾机械强度、导热速率与制造成本。

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PRODUCT FEATURES

产品特点

01
机械强度高
02
导热响应快
03
支持加热、测温和接口一体化设计

APPLICATION

应用场景

适用于部分刻蚀、薄膜沉积及专用真空加热工艺。

SPECIFICATIONS

产品参数

以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。

定制内容: 腔体形状、RF 频率及水电气接口
温控方式: 多温区及热电偶可选
结构材料: 按工况选配

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