PRODUCT FEATURES
产品特点
- 01
针对半片、三分片等片型设计
- 02
靶材有效占比高达 85%
- 03
支持装载结构和设备接口定制
APPLICATION
应用场景
适用于光伏电池 PVD 镀膜环节的半片及分片工艺。
SPECIFICATIONS
产品参数
以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。
- 平面度
- ±1.5 mm
- 参考寿命
- ≥18 个月
- 定制内容
- 片型、Pocket、腔体及接口
CUSTOMIZED SOLUTIONS
中文EN中文ENPRODUCT FEATURES
针对半片、三分片等片型设计
靶材有效占比高达 85%
支持装载结构和设备接口定制
APPLICATION
适用于光伏电池 PVD 镀膜环节的半片及分片工艺。
SPECIFICATIONS
以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。
CUSTOMIZED SOLUTIONS