PRODUCT FEATURES
产品特点
- 01
高强度碳碳复合材料，耐高温、耐腐蚀
- 02
精密 Pocket 加工，适配 182 / 210 mm 硅片
- 03
大尺寸、低热膨胀系数与高平面度设计
APPLICATION
应用场景
适用于 HJT 异质结电池 PECVD 镀膜设备，可结合腔体尺寸、装载方式和自动化接口进行定制。
SPECIFICATIONS
产品参数
以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。
- 外形尺寸
- 2030 × 2015 mm
- Pocket 数目
- 162（210 半片型）
- 硅片尺寸
- 182 / 210 mm
- 平面度
- ±1 mm
- 参考寿命
- ≥18 个月
CUSTOMIZED SOLUTIONS