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PECVD 碳碳载板(四拼)

PECVD 碳碳载板

PECVD 碳碳载板(四拼)

面向更高装载量需求的四拼碳碳载板,为大尺寸真空镀膜工况提供稳定支撑。

PRODUCT FEATURES

产品特点

  1. 01

    高强度碳碳复合材料

  2. 02

    精密 Pocket 加工,硅片适配精度可达 ±0.1 mm

  3. 03

    低热膨胀系数与高平面度设计

APPLICATION

应用场景

适用于 HJT 异质结电池 PECVD 镀膜设备的大批量装载场景。

SPECIFICATIONS

产品参数

以下内容来自公司画册公开资料;具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。

外形尺寸
2750 × 2680 mm
Pocket 数目
288(210 半片型)
硅片尺寸
182 / 210 mm
平面度
±1.5 mm
参考寿命
≥18 个月

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