PRODUCT FEATURES
产品特点
- 01
大尺寸、高平面度复合载板设计
- 02
兼顾结构强度与装载效率
- 03
支持设备接口及自动化上下料定制
APPLICATION
应用场景
适用于光伏电池 PVD 真空镀膜设备。
SPECIFICATIONS
产品参数
以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。
- 外形尺寸
- 2317 × 2150 mm
- Pocket 数目
- 160（210 半片型）
- 硅片尺寸
- 182 / 210 mm
- 平面度
- ±1.5 mm
- 参考寿命
- ≥18 个月
CUSTOMIZED SOLUTIONS