PRODUCT FEATURES
产品特点
- 01
大尺寸拼接结构
- 02
高平面度与稳定装载
- 03
支持腔体和自动化接口定制
APPLICATION
应用场景
适用于高装载量 PVD 真空镀膜生产线。
SPECIFICATIONS
产品参数
以下内容来自公司画册公开资料；具体规格以项目图纸与技术确认结果为准。
- 外形尺寸
- 2750 × 2750 mm
- Pocket 数目
- 288（210 半片型）
- 硅片尺寸
- 182 / 210 mm
- 平面度
- ±1.5 mm
- 参考寿命
- ≥18 个月
CUSTOMIZED SOLUTIONS